反渗透超纯水设备是近阶段制备超纯水的主流设备之一，原水，经过预处理达到反渗透超纯水设备进水水质要求，进入edi模块进行去离子处理。　　反渗透超纯水设备将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成EDI单元。
EDI组件中将一定数量的EDI单元间用网状物隔开，形成浓水室。又在单元组两端设置阴/阳电极。在直流电的推动下，通过淡水室水流中的阴阳离子分别穿过阴阳离子交换膜进入到浓水室而在淡水室中去除。而通过浓水室的水将离子带出系统，成为浓水。　　反渗透超纯水设备一般以反渗透(RO)纯水作为EDI给水。RO纯水电阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI纯水电阻率可以高达18
MΩ.cm(25℃)，但是根据去离子水用途和系统配置设置，EDI纯水适用于制备电阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的纯水。　　超纯水制造历史进程　　第一阶段：预处理——>阳床——>阴床——>混合床　　第二阶段：预处理——>反渗透——>混合床　　目前阶段：预处理——>反渗透——>EDI(无需酸碱)　　传统的离子交换已经越来越无法满足现代工业和环保的需要，于是将膜、树脂和电化学原理相结合的EDI技术成为水处理技术的一场革命。其离子交换树脂的的再生使用的是电，而不再需要酸碱，因而更满足于当今世界的环保要求。　　自从1986年EDI 膜堆技术工业化以来，全世界已安装了数千套EDI
系统，尤其在制药、半导体、电力和表面清洗等工业中得到了大力的发展，同时在废水处理、饮料及微生物等领域也得到广泛使用。EDI
装置是应用在反渗透系统之后，取代传统的混合离子交换技术(MB-DI)生产稳定的去离子水。　　EDI技术与混合离子交换技术相比有如下优点　　①、水质稳定　　②、容易实现全自动控制　　③、不会因再生而停机　　④、不需化学再生　　⑤、运行费用低　　⑥、厂房面积小　　⑦、无污水排放。　　反渗透超纯水设备可以应用到电子行业、微电子行业、医疗行业和所有应用到超纯水的行业。尤其是在电子清洗行业中应用更多。