超纯水设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。超纯水设备所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.2兆欧。　　超纯水设备技术通过纯化柱进行深度脱盐处理就得到一级水或者超纯水，在超纯水后面加上紫外杀菌或者微滤、超滤等装置，除去水中残余的细菌、微粒、热源等。精密滤芯、活性炭滤芯、反渗透膜、纯化柱都是具有相对寿命的材料，精密滤芯和活性炭滤芯实际上是对反渗透膜的保护，如果它们失效，那么反渗透膜的负荷就加重，寿命减短，如果继续开机的话，那产生的纯水水质就下降，随之就加重了纯化柱的负担，则纯化柱的寿命就会缩短。终结果是加大了超纯水机的使用成本。　　超纯水设备的工艺流程　　不锈钢滤网过滤器→PP精滤→AC活性碳→UF超滤→RO反渗透→RO反渗透→IX纯化　　不锈钢滤网过滤器→PP精滤→AC活性碳→UF超滤→RO反渗透→EDI　　超纯水设备在的使用中的注意事项　　1、精密滤芯又称过滤滤芯，分线绕滤芯和PP熔喷滤芯，主要过滤原水中的泥沙等大的颗粒物，其过滤精度有5微米、1微米等。新的滤芯是白色，如果时间长了表面会淤积泥沙等，呈现褐色，这就表示该滤芯不能用了，用自来水冲洗掉表面淤泥后，可以勉强继续使用1-2周，但不能长期使用。　　2、活性炭滤芯主要通过吸附作用，去除水中的异味、有机物等。自来水中有余氯，对反渗透膜有很大的氧化作用，所以必须经由活性炭去除。　　3、反渗透膜是超纯水设备中十分重要的部件，其孔径非常小，所以在使用过程中常常有细菌等微观物质淤积在其表面，超纯水装置都有反冲洗功能，旨在洗掉污染物。　　4、纯化柱作用是对反渗透纯水进行深度脱盐，终达到一级水或超纯水水平。其原理是离子交换。纯化柱的寿命由电阻率在线来表现。低于某个特定的电阻即表示纯化柱过期，比较直观。　　5、用水以自来水为水源的超纯水设备一般都有两个出水口，分别是三级水和一级水，经反渗透出来的水是三级水，存放在水箱里，而一级水是即用即取，不存放。三级水没有通过纯化柱，一级水通过了纯化柱，一级水的成本高于三级水。